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XT100,XT200,XT300 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀
XT100,XT200,XT300 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀
發(fā)表時(shí)間：2011/4/26 點(diǎn)擊次數(shù)：2215
XT100,XT200,XT300美國EXTORR四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀
特點(diǎn)及應(yīng)用：
•操作簡(jiǎn)單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
在工藝中的效果
•
改善質(zhì)量
•
改進(jìn)工藝
•
減少停機(jī)時(shí)間
•
提高流片量
•
縮小工藝周期
•
降低成本
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