LSP500皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)

皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) LSP500 是 LINXON 品牌下最新的真空計(jì)產(chǎn)品,LSP500 基于熱傳導(dǎo)(熱損失)這一經(jīng)過驗(yàn)證的物理原理工作，這也是幾

十年來廣泛使用的真空測(cè)量原理。LINXON LSP500 非常適合所有需要在 5 x 104 至 1000 毫巴范圍內(nèi)進(jìn)行可靠測(cè)量的真空應(yīng)用。

LSP500 憑借精心設(shè)計(jì)的傳感器技術(shù)、不銹鋼法蘭、可靠的電子單元以及引人注目的緊湊型鋁制外殼，其適用于眾多真空應(yīng)用。如果在長時(shí)間工作

后需要更換傳感器單元，該傳感器單元可以在現(xiàn)場輕松更換。這突顯了新款 LSP500 的用戶友好性和成本效益。

技術(shù)參數(shù)

• 測(cè)量范圍：通常為至 1000 毫巴，可滿足多種真空環(huán)境下的測(cè)量需求145。

• 精度：在至 100 毫巴范圍內(nèi)，精度為讀數(shù)；在至毫巴和 100 至 1000 毫巴范圍內(nèi)，精度為讀數(shù)46。

• 分辨率：一般可達(dá)到讀數(shù)6。

• 重復(fù)性：在至 100 毫巴范圍內(nèi)，重復(fù)性為讀數(shù)46。

• 輸出信號(hào)：電壓范圍為 0 至 + 10.3V，測(cè)量范圍為 + 1.9 至 + 10V，電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系為對(duì)數(shù)46。

特點(diǎn)

• 結(jié)構(gòu)緊湊：采用緊湊的鋁制外殼設(shè)計(jì)，體積小巧，便于安裝和使用，可在空間有限的設(shè)備或系統(tǒng)中靈活安裝34。

• 傳感器技術(shù)先進(jìn)：精心設(shè)計(jì)的傳感器技術(shù)，能夠提供準(zhǔn)確可靠的測(cè)量結(jié)果，且傳感器單元可作為備件提供，便于現(xiàn)場更換，減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

• 兼容性好：兼容 EMC 并通過 CE 認(rèn)證，可與多種設(shè)備和系統(tǒng)兼容，確保在不同的工作環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。

使用方法

• 安裝：根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的安裝位置和連接方式，確保真空計(jì)與被測(cè)系統(tǒng)之間的連接緊密、無泄漏。常見的連接方式有 DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、1/8" NPT 等46。

• 校準(zhǔn)：在使用前需要進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)方法通常是將真空計(jì)與已知標(biāo)準(zhǔn)真空度的設(shè)備進(jìn)行對(duì)比，調(diào)整真空計(jì)的參數(shù)使其測(cè)量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值一致。

• 測(cè)量：連接好電源和被測(cè)系統(tǒng)后，打開真空計(jì)電源開關(guān)，等待設(shè)備穩(wěn)定后即可進(jìn)行測(cè)量。在測(cè)量過程中，可根據(jù)需要設(shè)置測(cè)量范圍、分辨率等參數(shù)。

• 數(shù)據(jù)記錄與分析：測(cè)量完成后，可將測(cè)量數(shù)據(jù)記錄下來，以便進(jìn)行后續(xù)的分析和處理。一些先進(jìn)的 LSP500 皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)還可以與計(jì)算機(jī)或其他數(shù)據(jù)采集設(shè)備連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)數(shù)據(jù)采集和分析。

應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，需要對(duì)真空鍍膜、刻蝕等工藝中的真空度進(jìn)行精確測(cè)量和控制，LSP500 皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)可滿足這一需求。

• 真空鍍膜：在光學(xué)薄膜、電子薄膜等真空鍍膜過程中，準(zhǔn)確控制真空度對(duì)于薄膜的質(zhì)量和性能至關(guān)重要，該真空計(jì)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度，確保鍍膜工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

• 科研實(shí)驗(yàn)：在物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域的科研實(shí)驗(yàn)中，常常需要對(duì)真空環(huán)境進(jìn)行精確控制和測(cè)量，LSP500 皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)可作為一種可靠的真空測(cè)量工具，為實(shí)驗(yàn)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。

維護(hù)與保養(yǎng)

• 定期清潔：使用干凈的軟布或棉球蘸取適量的無水乙醇，輕輕擦拭真空計(jì)的外殼和傳感器表面，去除灰塵、油污等雜質(zhì)。

• 檢查連接部位：定期檢查真空計(jì)與被測(cè)系統(tǒng)之間的連接部位，確保連接牢固、無泄漏。如發(fā)現(xiàn)連接部位松動(dòng)或有泄漏現(xiàn)象，應(yīng)及時(shí)擰緊或更換密封件。

• 校準(zhǔn)維護(hù)：按照規(guī)定的周期對(duì)真空計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)，一般建議每 6 個(gè)月至 1 年校準(zhǔn)一次。如發(fā)現(xiàn)測(cè)量結(jié)果偏差較大或不穩(wěn)定，應(yīng)及時(shí)進(jìn)行校準(zhǔn)或維修。

• 避免過載和沖擊：在使用過程中，應(yīng)避免真空計(jì)受到過載壓力和沖擊，以免損壞傳感器和內(nèi)部電路。如被測(cè)系統(tǒng)的壓力突然變化較大，應(yīng)及時(shí)采取措施保護(hù)真空計(jì)。