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2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

簡要描述:2179A質(zhì)量流量控制器和截止閥

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-07
  • 訪  問  量:4495
  • 產(chǎn)品資料:

詳細介紹

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2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

2179A是通用彈性體密封質(zhì)量控制器和完整的截止閥。用于各種氣體測量和控制流量。當連接到一個合適的壓力傳感器它可以用作壓力控制器。截止閥狀態(tài)為常閉,閥精確率4x10-9scc/sec2179A輸出信號有模擬和數(shù)字模擬。滿量程的精度為1%2179A所需功率低單位操作100mA消耗為±15VDC200mA開啟)。

2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

例如:型2179a00411cr16vxx

氣體選型

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, O2

015

流量選型,單位SCCM(zui大20000 N2當量)

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

配件

標準:(兼容)Swagelok® 4 VCR® male

R

可選:(兼容)Swagelok 4 VCO® male

G

可選:(兼容)Swagelok 1/4" tube

S

長度適配器w/ 4 VCR配件

L

長度適配器w/ 1/4" Swagelok配件*

W

常閉

1

連接器

模擬:

9針“D"類型

A

15針“D"類型

B

20針邊緣卡

C

單元組合儀表15針“D"類型

N

微孔15針“D"類型

T

連接器

數(shù)字:

RS-485

5

DeviceNet™

6

密封

標準:Viton®

V

可選:Neoprene®

N

可選:Buna-N

B

可選:Kalrez®

K

固件版本(DeviceNet只)

除非另有規(guī)定,MKS公司將給當前的版本

XX

2179A的接線方式:

CB147-12-10連接2179 9 D"型PR4000,246,247647

CB259-5-10連接2179 15 D"型246,247

CB147-1-10連接2179  15 D"型PR4000,647

CB259-10-10連接2179  20針的邊緣卡246,247

CB147-7-10連接2179  20針的邊緣卡PR4000,647












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